1•甩干机机型
双工作腔结构，最大加工片子直径φ150mm。S为双片盒结构.
2•系统构成
整机采用双工位（或单工位）层叠、积本式组合结构，每个工位可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警、系统洁净化处理在内的全自动工艺处理过程。
3•结构原理与特点
（1）洁净化处理技术 ⑵ 大功率无刷电机驱动
⑶ 清洗工作腔体 ⑷ 转轴氮气密封技术
⑸ 去离子水控制 ⑹ 防静电控制
⑺ 防震、隔震技术 ⑻ 测速、计数控制技术
⑼ 制动控制技术 ⑽ 系统控制技术
⑾ 工艺处理软件 ⑿ 颗粒控制性能
⒀ 安全及防护处理 ⒁ 门位置状态监控与互锁
⒂ 生产技术